离子束镀膜仪 （可选手套箱版）

技术规格

1. 离子源

高压电源：0.1 - 6KV

气 体：氩气(或其他气体)

气 体 流：<0.1sccm/数字控制

2. 样品台（可旋转）

3. 可用金、铂、碳，硅等固体靶极材料为TEM、SEM样品镀膜

4. 软件环境：Windows2000/XP系统

5. 软件：

①质量流量控制系统

②高压控制系统

③真空度控制系统

④停机控制系统

6. 硬件：

①彩色触摸屏

②控制主机；

③嵌入式主板

④全数字控制进气质量流量器

⑤双离子源

7 真空系统：

8. 样品冷却：半导体冷却（选配）

产品特点：

1)全数字控制系统

2)可自动停机

3)误操作保护系统

4)可镀金、铂、碳、硅等固体材料

5)镀膜的材料颗粒可达到1nm