透射电镜原位力学-电学测量系统

在标配STM-TEM样品杆内集成纳牛力传感器，实现高精度的力学及电学测量。

力学传感器指标：

悬臂梁弹性范围1 N/m~100 N/m；

载荷分辨率优于5 nN（使用1 N/m悬臂梁时）；

自动测量力-距离曲线，自动保存。

电学测量指标：

包含一个电流电压测试单元；

电流测量范围：１ nA-30 mA，9个量程；

电流分辨率：优于100 fA；

电压输出范围：普通模式±10 V，高压模式±150 V；

自动 I-V测量、I-t 测量，自动保存。