透射电镜原位高温力学测量系统

同时集成了力学测量模块及MEMS芯片模块，可以在对样品1000℃ 加热的同时进行定量的力学测量。实现了透射电镜中真正意义上的高 分辨定量原位高温力学研究。

力学传感器指标：

最大载荷100 mN；

力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN最大载荷时）；

力测量实测分辨率优于5 nN；

自动测量力-距离曲线，自动保存。

加热指标：

温度控制范围：室温至1000 ℃；

温度准确度：优于5%；

温度稳定性：优于±0.1 ℃