联用型原子力显微镜

▶ 亮点

• 与光学系统原位联用

• 测量时无外界光干扰

• 采用压电自感知探针

• 研究特质、性能卓越

▶ 仪器功能及特点

Ø 采用基于石英音叉的压电自感知探针，如Akiyama探针、WinSPM探针。

Ø 标配光谱仪联用模块，可实现与高灵敏光学物镜的原位联用，性能卓越。

Ø 实现频率调制模式的形貌成像等测量分析功能，测量时样品无激光干扰。

Ø 采用高精度嵌入式测控系统，主机隔音抗震设计，抗干扰能力强。

Ø 可选配多种规格的管型扫描器或平面闭环型扫描器。

Ø 可选配扩展模块增强系统功能，支持特殊功能定制。

▶ 主要技术参数

  1、采用压电自感知探针实现频率调制 模式的形貌成像等测量分析功能。

2、一键式快速自动进样，进样的最大行程≥23 mm，最小步距≤50 nm。

3、手动调节样品检测位置，调节最大范围≥±8.0 mm。

4、样品尺寸的最大直径≤30mm，最大厚度≤20mm。

5、标配管型扫描器，最大扫描范围≥20μm×20μm×3μm，扫描分辨率优于0.02nm。

6、样品逐行扫描成像，扫描成像速率0.1-30行/秒，PID反馈控制的响应时间优于10 μs。

7、一次扫描多幅图像，每幅图像采样点最高达4000*4000物理象素。

8、系统噪声水平（Z方向，RMS）≤0.05nm（以石墨晶体的单原子层台阶标定）。

9、嵌入式测控系统采用双核处理器（ARM + DSP），与上位机通讯采用TCP/IP协议。

10、成像测量分析软件，可实时同步显示的数据通道数≥5个。

11、可原位联用光学物镜的数值孔径最大为0.75，工作距离最小为8.1mm。

12、激光光轴的对准在XYZ三轴均可手动调节，调节行程均≥5 mm。

13、激光焦点与自感知探针针尖的轴向位置可手动调节，调节行程≥5 mm。  

▶ 标准配置

Ø 主机底座

Ø 手动样品调节二维台

Ø 主机探头（A型）

Ø 探针架2个（A型和D型）

Ø 管型扫描器（20μm×20μm×3μm）

Ø 控制器

Ø 计算机及专用测控软件

Ø 专用配件及工具

Ø 光谱仪联用模块（含CCD）

▶ 选配模块及附件耗材

1、辅助光学显微镜（物镜倍数0.7X～4.5X；工作距离115mm）

2、纳米加工模块

3、导电原子力显微镜（CAFM）模块

4、扫描隧道显微镜（STM）模块

5、静电力显微镜（EFM）模块

6、磁力显微镜（MFM）模块

7、管型扫描器（5μm、20μm、80μm可选）

8、平面闭环扫描器（30μm×30μm×8μm，闭环分辨率1.5nm）

9、高倍光学物镜（100X）

10、Akiyama自感知探针1盒（10枚）

11、WinSPM自感知探针1盒（8枚）

▶ 应用领域及实验

Ø 原子力显微镜的科学研究与常规实验，如：纳米形貌物性研究、二维材料及纳米台阶的测量分析。

Ø 高空间分辨和高灵敏度的光谱测量与光学特性分析，如研究新型信息材料与器件、针尖增强拉曼。

Ø 无光环境下的纳米光电特性研究，包括：光电/发光/二维/半导体材料及器件。

Ø 基于原子力显微镜的拓展应用领域及实验，包括：纳米加工刻蚀、导电原子力显微镜（C-AFM）、静电力显微镜（EFM）、磁力显微镜（MFM）等。（需增配相应功能模块）