MPS100A手动探针台

技术参数

可测试Wafer尺寸：2英寸~4英寸

Chuck XY向行程：100mm*100mm

Chuck移动分辨率：旋钮调节

Chuck旋转范围： ±5°微调，360°粗调

台面接触分离: 10mm,10微米分辨率

Chuck漏电:<1pA

上下片方式：手动旋钮式

显微镜机构调节:Z向±35mm

进口静音真空泵

双目体式显微镜，LED环形灯照明，总倍率为:最大90X，物镜0.7X-4.5X连续，目镜20X

直流针座，磁吸附，带磁性开关。

X-Y-Z 移动: 12mmx12mmx12mm  

线性移动解析: 1.0 um

探针夹持器，铜针管直径4.0mm 金属铜管长：150mm 接1.5米同轴线 BNC电缆