扫描电镜原位气氛环境测量系统

扫描电镜原位气氛环境测量系统将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电镜样品台上，在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且可以对实验样品原位加热。该系统允许研究者在气氛环境中原位、动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大拓展了扫描电镜的功能与应用领域。该产品可实现最高1 Bar & 800℃ 的极端观测条件，使研究者可以在原子尺度上实时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长/合成以及各类腐蚀反应，将您的扫描电镜从一台静态成像工具升级为一套功能强大的纳米实验室。

气体流动指标：

三通道混气；

气压范围：0 - 1 Bar；

气压准确度：30 mBar；

气体流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

可通气体：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

软件控制。

扫描电镜指标：

兼容指定类型电镜；

保证电镜原有真空度；

MEMS反应微腔指标：

高质量氮化硅膜厚度30 nm；

样品漂移优于0.7 nm/min。

热学指标：

温度范围：室温至800 ℃；

温度准确度：优于5%；

温度稳定性：优于±0.1 ℃；

四电极加热，带温度反馈；

软件控制。