透射电镜原位气氛环境测量系统（气体+加热）

在透射电子显微镜中制造气氛及高温环境，实现最高1 Bar & 800 ℃ 的极端观测条件。该系统

使研究者可以在原子尺度上实时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长/合成以及各类腐蚀

反应，将您的透射电镜从一台静态成像工具升级为一套功能强大的纳米实验室。

透射电子显微镜指标：

兼容指定型号电镜及极靴；

通气后透射电子显微镜分辨率优于0.1 nm。

加热指标：

温度范围：室温至800 ℃；

温度准确度：优于5% ；

温度稳定性：优于±0.1 ℃；

四电极加热，带温度反馈；

软件控制。

气体流动指标：

三通道混气

气压范围：0 - 1 Bar；

气压准确度：30 mBar；

气体流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

可通气体：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

软件控制。

MEMS反应微腔指标：

高质量氮化硅膜厚度25 nm；

样品漂移优于0.7 nm/min。