透射电镜原位MEMS加热/电学/低温测量系统

透射电子显微镜是唯一的提供在较高时间分辨率下得到原子级空间分辨率的实验手段。透射电子显微镜原位加热/电学测量系统是在标准外形的透射电镜样品杆内安装MEMS工艺制成的微加热芯片和电学测量芯片。微加热芯片可对样品进行可控温度的加热，电学测量芯片可对样品进行电性质测量。并可在进行加热和电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地扩展了透射电子显微镜的功能与应用领域。本系统硬件包括两部分，分别是加热/电学测量控制器、原位MEMS芯片样品杆。软件包括自动控温软件和自动电学测量软件。

透射电子显微镜指标：

兼容指定型号电镜及极靴；

单倾可选高倾角版本；

可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于极靴）；

测量电极数可选。

电学测量指标：

包含一个电流电压测试单元；

电压输出最大±200 V，最小±100 nV；

电流测量最大±1.5 A，最小100 fA；

恒压或者恒流模式；

自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

加热与温控指标：

温度控制范围：室温到1200 ℃；

加热功率：最大30 W；

控温稳定性：优于±0.1 ℃；

最大升温速率：1000 ℃/ms。

在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能。

性能指标：

兼容MEMS加热及电学芯片；

全温区测量，温度范围：85 K- 380 K；

控温稳定性：优于±0.1 K；

温度连续可控。