原位MEMS-STM-TEM多场测量系统（非定量力+电+光+加热）

该产品是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力、热、光、电等），从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。

光纤指标：

多模光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

可选光纤探针、平头光纤；

配备快速SMA接头、FC接头；

加热指标：

温度范围：室温到1000 ℃；

温度准确度优于 5% ；

温度稳定性：优于±0.1 ℃。

产品特点：

 可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加最多四种激励，实

现多种复杂的测试功能，完成以往无法实现的研究。

（1）高温拉伸/压缩（加热芯片+电学STM探针）；

（2）热电子发射/场发射（加热芯片+电学STM探针）；

（3）三端器件测量（电学芯片+电学STM探针）；

（4）电致发光现象研究（电学芯片+光学STM探针）；

（5）光电现象研究（电学芯片+光学STM探针）。