BJHM-F(14.5L)方腔实验室小型等离子清洗机

BJHM-F型等离子体表面处理系统是一款功能强大的桌面型表面等离子体设备，非常适合于高校，科学研究所和企业实验室，或者小批量生产；需要低成本运作；高效处理的企业。具备等离子设备几乎所有的功能，具有较大的腔体尺寸和灵活的电极配置方式。可用于更大的型的应用，包括生产水平的应用.

1.       真空腔规格: 材质6061-T6铝合金 240mm*300mm*200mm

2.       电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金

3.       电极尺寸：205mm *205mm

4.       频率：13.56MHz (可选配40KHz射频等离子源)

5.       功率：0-500W连续可调，精度1W,可在设备运行中随时调整参数

6.       气体控制：针式气体流量阀， 60-600ml   2路气体

7.       真空计：电偶式真空计，精度：0.01mTor

8.       控制方式：4.3寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式

         控制软件功能：界面显示实时工作状态