FIB/场发射电镜舱体清洗远程离子源

型号：RPS 50

• 远程清洗

• 即插即用

• 高效快速 RPS50 SEM

扫描电镜清洗仪适用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清 洗。采用远程ICP 射频离子源清洗，高效、低等离子体轰击损伤。核心部 件采用国际一流品牌，保证设备具有优异的质量与稳定可靠性。 标配一路清洗气体流量控制器。触摸屏控制，即插即用。