HM-RZD30（可定制）

技术参数：

蒸发源：高纯碳纤维φ0.8mm

蒸发源数量：1-4

蒸发模式：连续蒸发、脉冲蒸发

工作模式：自动、手动

预热除气：自动

除气挡板：自动

真空泵：分子泵 + 旋片式真空泵（可选配涡旋干泵或隔膜泵）

极限真空：＜5×10-3Pa

工作真空：＜0.1Pa

真空室：φ200×130mm

样品台：φ125mm

样品台旋转：自动、手动

样品台转速：4-20rpm

外观尺寸：424×345×420mm

供电电源：220V 1000W

蒸发源状态：系统自动检测并控制蒸发源通断与使用状态，并在主界面显示

保护功能：真空保护、过流保护、过压保护等

其它：真空、电流、电压可实时曲线显示

选配：膜厚监控、样品台温度检测等