国内椭偏仪的研究和应用高水平提升到国际水准

纳米薄膜由其独特的光学、电学、力学、化学等特性而成为新兴技术热点和趋势，本项目的高精度激光椭偏仪就是为解决上述问题而发展起来的，其基本原理是利用探测光波经样品表面反射前后偏振态的变化来获得样品的物理和结构信息，具有非接触、无扰动、可达原子层量级的灵敏度、几乎适用于任何材料等优点。

    与国际同类技术相比，本项目具有如下优点：
（1）采用旋转补偿器的采样方法定量测量，优于目前普遍采用的旋转检偏器采样方法；
（2）智能入射角度探测避免测量时的角度错误；
（3）采用滑动式的样品高低和俯仰对准系统缩小了体积；
（4）通过偏振控制实现光路的方便通断；
（5）弱信号检测适用于绒面太阳电池检测。
（1）通过自主创新，申请5项国家专利，打破了发达国家在高精度激光椭偏仪技术和产品的垄断。
（2）通过提供高精度的激光椭偏仪产品及配套的椭偏知识讲座、椭偏技术和仪器使用培训，把国内椭偏仪的研究和应用高水平提升到国际水准。
（3）本项目的高精度激光椭偏仪已为很多科研机构、大学和企业提供了专业的、高水平的纳米薄膜测试服务。
（4）产品已销售到多家单位，具有良好的社会效益和经济效益。